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    電子探針顯微分析(EPMA)的基本原理與應(yīng)用
    來源:本站 時間:2020-08-24 17:48:47 瀏覽:17756次

    電子探針顯微分析(EPMA)的基本原理與應(yīng)用

    作者:安銘

    1 引言

    電子探針X射線顯微分析儀(Electron Probe X-ray Micro-Analyzer,簡寫為EPMA或者EMA)簡稱為電子探針。作為一種在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的高效率分析儀器,其通過電子束作用于試樣微區(qū)上而產(chǎn)生的二次電子、背散射電子及X射線等信號,進行固體物質(zhì)顯微分析,包括微區(qū)成分、形貌和結(jié)構(gòu)分析。不同于一般用于分析樣品較大范圍內(nèi)的平均化學(xué)組成的方法(如化學(xué)分析、X光熒光分析以及光譜分析),電子探針的微區(qū)成分分析能將微區(qū)化學(xué)成分和顯微組織對應(yīng)起來,因此是一種顯微組織的分析。

    2 電子探針的發(fā)展歷史

    電子探針顯微分析的發(fā)展是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的,該儀器實質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。

    根據(jù)相關(guān)記載,第一臺靜止型電子探針樣機于1949年在法國制成,其由電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

    1953年,前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀,英、美等國繼此之后陸續(xù)生產(chǎn)。

    第一臺掃描電子探針儀商品于1960年由美國制成,不僅能對試樣作點或微區(qū)分析,而且能對樣品表面微區(qū)進行掃描。

    1970年以后,電子探針和掃描電鏡逐漸組合為一體,同時應(yīng)用電子計算機控制分析過程和進行數(shù)據(jù)處理。

    免責(zé)聲明:本文僅作交流學(xué)習(xí)之用,不作任何商業(yè)用途,若有侵權(quán),請聯(lián)系刪除,謝謝理解!

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    12條評論
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    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達(dá)信息以傳之久遠(yuǎn)的方式和工具?,F(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達(dá)的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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