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    當(dāng)前位置：材料測試 ?  力學(xué)性能 ? 

    薄膜應(yīng)力測試儀

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    薄膜應(yīng)力測試儀

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    202次

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    如有各類設(shè)備采購需求，請聯(lián)系專屬顧問。
    項(xiàng)目介紹

    激光曲率法，基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進(jìn)的激光掃描方式和探測技術(shù)，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應(yīng)力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測量。

    樣品要求

    1、樣品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

    2、薄膜厚度目前沒有明顯要求（一般說的薄膜或者晶圓，厚度都是微米級~幾個(gè)mm以內(nèi)）

    3、需要提供薄膜的厚度值，作為評估和測試的參考

    4、測試一般分為兩個(gè)步驟，先測一次沒有鍍膜的空白基底材料的曲率情況，鍍膜完成后再測一次鍍膜后引起的曲率變化，兩者相減，計(jì)算得到薄膜應(yīng)力。因此最好是鍍膜前后分別送樣測試，可以得到準(zhǔn)確的應(yīng)力結(jié)果，如果一次性提供一片空白基底以及鍍膜以后的一片樣品一起測試，也可得到相關(guān)數(shù)值，但是結(jié)果準(zhǔn)確度會有降低

    項(xiàng)目案例

    6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

    6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

    TiN金屬薄膜表面3D形貌

    3D輪廓

    曲率/應(yīng)力分布

    弓高/翹曲度

    薄膜應(yīng)力測試儀

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